返回 相约 SEMICON CHINA 2021
03/05/2021
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一年一度的半导体行业盛会SEMICON China将于2021年3月17-19日在上海新国际博览中心再次拉开帷幕。FITOK作为行业领先的高品质阀门管件供应商，将携一系列超高纯产品亮相该展。作为SEMI会员，我们非常高兴参与这个行业盛会。届时欢迎各位新老客户、合作伙伴、业界朋友莅临我司展位T2118参观指导！
明星产品
模块化气体系统
模块化气体系统 (Integrated Gas System) 是一种半导体行业用于气体控制的设备。随着半导体制程工艺越来越先进，对气体控制设备的要求也越来越高。
FITOK 模块化气体系统采用符合 SEMI 标准的表面安装元件，进行模块化设计，在缩小设备体积的同时，安装和维护反而变得更简单。
ALD 系列原子层沉积隔膜阀
ALD 系列原子层沉积隔膜阀可应用于原子层沉积工艺， 在半导体芯片制造的沉积工艺中输送精确剂量的气体，以实现先进技术所需的均匀气体沉积。
FITOK ALD 系列原子层沉积隔膜阀具有高速执行下超高循环寿命、响应速度快，可在低于 5 ms 内完成阀门开启和关闭、耐热型延长热应用场合的执行器寿命等特点。
其他产品
三阀四通隔膜阀
FCR-1 系列减压阀
MU 系列波纹管计量阀
FDR-1T 系列切换系统
除了以上展品，还有金属面密封接头、气瓶接头、高品质软管、快速接头、钢管等产品也将亮相展会。在此，我们诚挚邀请您莅临参观FITOK T2118展台，详细了解最新的产品技术与解决方案。SEMICON China 2021，让我们不见不散！
