简介

 

模块化气体系统 (Integrated Gas System) 是一种半导体行业用于气体控制的设备。随着半导体制程工艺越来越先进，对气体控制设备的要求也越来越高。

FITOK 模块化气体系统采用符合 SEMI 标准的表面安装元件，进行模块化设计，在缩小设备体积的同时，安装和维护反而变得更简单。

单流路系统

特征

 

模块化设计 - 缩短设计时间

根据客户 PID 图，用标准的基块、阀门（隔膜阀、单向阀、减压阀）、流量计、过滤器、压力传感器等元件，在面板上采用搭积木的方式即可完成设计。

表面安装 - 易于安装和维修

所有元件均采用符合 SEMI 标准表面安装方式（1.125" W 型/C 型密封、1.5” W 型/C 型密封），用简单的工具即可完成安装和后期的维修。

小型化

体积约为传统面板的 1/3，相应的流道尺寸也缩小，对沾污控制更有利。

SEMI 标准材料、电解抛光工艺和轨道焊

浸润部件均采用符合SEMI标准的不锈钢材质，流道均经过电解抛光（Ra 0.13），接头处均采用轨道焊。

W 形/C 形密封

元件与基块之间的密封均采用 W 形密封（W-seal）或者 C 形密封（C-seal），都为金属硬密封，密封部位和受力部位是分离的，能够达到最优的密封效果。

9流路模块化气体系统

7流路模块化气体系统

订购说明

 

FITOK 可根据客户 PID 图设计和供货模块化气体系统，其中过滤器、压力传感器和流量控制器可由客户提供或 FITOK 按客户提供品牌采购。

请查看模块化气体系统样本了解更多信息。如果您有任何疑问，请在线留言，我们将尽快与您取得联系！