模块化气体系统

06/24/2020
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概述

模块化气体系统 (Integrated Gas System) 是一种半导体行业用于气体控制的设备。随着半导体制程工艺越来越先进,对气体控制设备的要求也越来越高。

FITOK 模块化气体系统采用符合 SEMI 标准的表面安装元件,进行模块化设计,在缩小设备体积的同时,安装和维护反而变得更简单。

单流路系统

特征

◆模块化设计——缩短设计时间

根据客户 PID 图,用标准的基块、阀门(隔膜阀、单向阀、减压阀)、流量计、过滤器、压力传感器等元件,在面板上采用搭积木的方式即可完成设计。

◆表面安装——易于安装和维修

所有元件均采用符合 SEMI 标准表面安装方式(1.125"W型/C型密封、1.5”W型/C型密封),用简单的工具即可完成安装和后期的维修。

◆小型化

体积约为传统面板的 1/3,相应的流道尺寸也缩小,对沾污控制更有利。

◆316LVV材料、电解抛光工艺和轨道焊

接液部件均采用 316LVV 二次熔炼奥氏体不锈钢,流道均经过电解抛光(Ra0.13),接头处均采用轨道焊。

◆W 型/C型密封

元件与基块之间的密封均采用 W 型密封(W-seal)或者C型密封(C-seal),都为金属硬密封,密封部位和受力部位是分离的,能够达到最优的密封效果。

9流路模块化气体系统

订购说明

FITOK 可根据客户 PID 图设计和供货模块化气体系统,其中过滤器、压力传感器和流量控制器可由客户提供或 FITOK 按客户提供品牌采购。

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