新产品发布:飞托克经济型隔膜阀

09/21/2022
26

飞托克经济型隔膜阀

 

简介

 

 

DE 系列经济型隔膜阀,是适用于超高纯气体流体系统的标准产品。在与飞托克其他系列隔膜阀使用同样的材料、清洁和包装工艺,保持基本性能相同的基础上,通过减少零部件数量,优化加工方法以及大规模批量生产,来实现可靠性和经济性。飞托克先进的制造工艺和严格的质量控制,确保产品能满足半导体行业高纯度气体流体系统的应用需求。

 

特征

 

 

  • 极少产生颗粒和死区
  • 钴合金隔膜强度高、耐腐蚀,使用寿命长
  • 与介质接触区无弹簧或螺纹,提高了清洁度

 

技术参数

 

 

 
端口尺寸 1/4"
端口类型 FR 金属垫片面密封接头
流量系数(Cv) 0.27
内通径尺寸 4.1 mm (0.16 in.)
工作压力 真空至 10 bar (150 psig)
气动执行器工作压力 4.2 ~ 6.2 bar (60 ~ 90 psig)
工作温度 -23 ~ 80 °C (-10 ~ 176 °F)
泄漏率(氦气) 内漏 ≤ 1x10-9 std cm3/s
外漏 ≤ 1x10-9 std cm3/s

 

除 DE 系列经济型隔膜阀外,飞托克还可提供其他各类超高纯隔膜阀(DK、DQ、 DH、 DM、DS、DR、 DV、DL 和 DF 系列),ALD 系列原子层沉积隔膜阀,以及适用于清洁干燥空气(CDA)和大宗气体(Bulk Gas)的高纯球阀 (BGP系列和BRP系列),满足半导体行业对流体系统元件的严苛要求。

 

请查看 DE 系列经济型隔膜阀样本了解更多信息。如果您有任何疑问,请在线留言 ,我们将安排销售和技术支持尽快与您取得联系!

 

相关文章: