返回 新产品发布：飞托克经济型隔膜阀
09/21/2022
2449
简介
DE 系列经济型隔膜阀，是适用于超高纯气体流体系统的标准产品。在与飞托克其他系列隔膜阀使用同样的材料、清洁和包装工艺，保持基本性能相同的基础上，通过减少零部件数量，优化加工方法以及大规模批量生产，来实现可靠性和经济性。飞托克先进的制造工艺和严格的质量控制，确保产品能满足半导体行业高纯度气体流体系统的应用需求。
特征
- 极少产生颗粒和死区
- 钴合金隔膜强度高、耐腐蚀，使用寿命长
- 与介质接触区无弹簧或螺纹，提高了清洁度
技术参数
| 端口尺寸 | 1/4" | |
| 端口类型 | FR 金属垫片面密封接头 | |
| 流量系数(Cv) | 0.27 | |
| 内通径尺寸 | 4.1 mm (0.16 in.) | |
| 工作压力 | 真空至 10 bar (150 psig) | |
| 气动执行器工作压力 | 4.2 ~ 6.2 bar (60 ~ 90 psig) | |
| 工作温度 | -23 ~ 80 °C (-10 ~ 176 °F) | |
| 泄漏率(氦气) | 内漏 | ≤ 1x10-9 std cm3/s |
| 外漏 | ≤ 1x10-9 std cm3/s | |
除 DE 系列经济型隔膜阀外，飞托克还可提供其他各类超高纯隔膜阀（DK、DQ、 DH、 DM、DS、DR、 DV、DL 和 DF 系列），ALD 系列原子层沉积隔膜阀，以及适用于清洁干燥空气（CDA）和大宗气体（Bulk Gas）的高纯球阀 (BGP系列和BRP系列)，满足半导体行业对流体系统元件的严苛要求。
请查看 DE 系列经济型隔膜阀样本了解更多信息。如果您有任何疑问，请在线留言 ，我们将安排销售和技术支持尽快与您取得联系！
相关文章：
