返回 新产品发布：飞托克气体控制组件
01/04/2023
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飞托克气体控制组件，通过将隔膜阀/球阀、减压阀、压力表等配件进行一体化集成，减少现场连接，可实现精确的压力控制和介质关断。飞托克气体控制组件包括 AGH 系列高纯气体控制组件和 AGL 系列常规气体控制组件，目前这两类气体控制组件均广泛应用于半导体等行业。飞托克从材料、清洁、包装等方面严格要求工艺规范，以确保产品的洁净度。
AGH 系列高纯气体控制组件
※ 示意产品压力表连接件选用 T 系列管状接头
特征
- 用于半导体等高纯气体控制
- 由超高纯隔膜阀、超高纯压力表和减压阀等配件组成，超高纯隔膜阀作为关断阀
- 合金隔膜提高强度和耐腐蚀，使用寿命长
- 压力表连接件可选 T 系列管状接头（根据客户需求定制总长）
- FC-03 超高纯工艺规范
- 1)在 ISO 4 级/FED-STD-209E 10 级洁净室完成组装和测试
- 2)采用高纯净不锈钢材料加工制造，浸润面经过 EP 处理，平均内表面粗糙度 Ra 0.25 μm (10 μin.)
- 3)使用连续监控的去离子水超声清洁系统进行超高纯清洗
- 4)双层袋装防护，内层采用聚乙烯材料的无尘塑料袋真空密封 (可选惰性气体填充)，外层采用聚乙烯塑料袋密封
技术参数
| 参数 | 最大进口压力 | 300 psig |
| 出口压力 | 0 ~ 25、0 ~ 50、0 ~ 100、0 ~ 250 psig | |
| 工作温度 | -23 ~ 60 °C (-9.4 ~ 140 °F) | |
| 流量系数（减压阀 Cv） | 0.2 ~ 1.8 | |
| 尺寸 | 1/4" 至 1" 可选 | |
| 主体材料 | 316L SS、316L VAR 可选（压力表主体材料为 316L SS） | |
| 主要配件 | 隔膜阀 | DH 系列（1/4"）、DV 系列（1/2"）、DL 系列（3/4" & 1"） |
| 压力表 | GP 系列 | |
| 减压阀 | RDG 系列（1/4"）、RDM 系列（1/2"）、RDH 系列（3/4" & 1"） | |
AGL 系列常规气体控制组件
特征
- 适用于常规气体流体系统及富氧环境
- 由球阀、减压阀、压力表等配件组成
- 合金隔膜提高强度和耐腐蚀，使用寿命长
- FC-02 特殊清洁和包装工艺规范
- 1)符合 ASTM G93，Level C，非挥发性残留物不超过 6 毫克/平方英尺，适用于富氧环境
- 2)双层袋装防护，内层采用聚乙烯材料的无尘塑料袋真空密封 (可选惰性气体填充)，外层采用聚乙烯塑料袋密封
技术参数
| 参数 | 最大进口压力 | 500 psig |
| 出口压力 | 0 ~ 25、0 ~ 50、0 ~ 100、0 ~ 250 psig | |
| 工作温度 | -40 ~ 60 °C (-40 ~ 140 °F) | |
| 流量系数（减压阀 Cv） | 0.2 ~ 1.8 | |
| 尺寸 | 1/4" 至 1" 可选 | |
| 主体材料 | 316 SS、316L SS 可选（压力表主体材料为 316 SS） | |
| 主要配件 | 球阀 | BO 系列 |
| 压力表 | GC 系列 | |
| 减压阀 | RDG 系列（1/4"）、RDM 系列（1/2"）、RDH 系列（3/4" & 1"） | |
请查看气体控制组件样本了解更多信息。如果您有任何疑问，请在线留言，我们将尽快与您取得联系！
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