飞托克源瓶组件

07/13/2022
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飞托克源瓶组件

 

简介

 

 

在原子层沉积(Atomic Layer Deposition, ALD)工艺中,选择合适的前驱体(Precursor)对工艺控制、薄膜性能等方面至关重要;同时根据前驱体特性,如挥发性、反应性等,配以合适的源瓶对工艺会有协同效应。

 

CSR 系列源瓶组件(CSR Series Canister Assemblies)通过对选材到成型工艺的高品质把控,因此能适应绝大部分前驱体封装存储,为整段沉积工艺提供绝佳的安全性和洁净度保障。

 

特征

 

 

  • 满足超高纯工艺,适用于超高纯应用
  • 浸润金属部件为 316L 不锈钢,广泛的化学兼容性
  • 外部机械抛光至镜面,内部电解抛光至粗糙度 Ra ≤ 0.25 μm (10 μin.)
  • 泄漏率 (氦气):≤ 1.0x10-9 std cm3/s
  • 连接尺寸:1/4" 至 1/2"
  • 连接方式:金属垫片面密封接头
  • 提供多种容积定制服务

 

主要结构材料

 

 

主要结构材料
 
序号 元件 型号示例 主要材料
1 堵帽 6L-CP-FR4 316L SS
2 垫片 6L-GT-FR4-AS-UP 316L SS
3 隔膜阀 DQ6L-RFR4-RF3 316L SS
4 锁紧装置 S4-FR4-LD 304 SS
5 源瓶 CSR6L-50-ALD 316L SS

注:以上仅为常规产品类型, 如有其它类型需求,请联系飞托克或授权代理商。

 

飞托克高品质隔膜阀金属垫片面密封接头,助力源瓶组件实现精确可靠的流量控制和清洁高纯气体的输送。

 

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