简介

 

在原子层沉积（Atomic Layer Deposition, ALD）工艺中，选择合适的前驱体（Precursor）对工艺控制、薄膜性能等方面至关重要；同时根据前驱体特性，如挥发性、反应性等，配以合适的源瓶对工艺会有协同效应。

CSR 系列源瓶组件（CSR Series Canister Assemblies）通过对选材到成型工艺的高品质把控，因此能适应绝大部分前驱体封装存储，为整段沉积工艺提供绝佳的安全性和洁净度保障。

特征

 

• 满足超高纯工艺，适用于超高纯应用
• 浸润金属部件为 316L 不锈钢，广泛的化学兼容性
• 外部机械抛光至镜面，内部电解抛光至粗糙度 Ra ≤ 0.25 μm (10 μin.)
• 泄漏率 (氦气)：≤ 1.0x10^-9 std cm³/s
• 连接尺寸：1/4" 至 1/2"
• 连接方式：金属垫片面密封接头
• 提供多种容积定制服务

主要结构材料

 

序号	元件	型号示例	主要材料
1	堵帽	6L-CP-FR4	316L SS
2	垫片	6L-GT-FR4-AS-UP	316L SS
3	隔膜阀	DQ6L-RFR4-RF3	316L SS
4	锁紧装置	S4-FR4-LD	304 SS
5	源瓶	CSR6L-50-ALD	316L SS

注：以上仅为常规产品类型， 如有其它类型需求，请联系飞托克或授权代理商。

飞托克高品质隔膜阀和金属垫片面密封接头，助力源瓶组件实现精确可靠的流量控制和清洁高纯气体的输送。

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