金属垫片面密封接头在半导体行业的应用

06/14/2022
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金属垫片面密封接头在半导体行业的应用

为什么金属垫片面密封接头能满足半导体行业的需求?

 

半导体行业不断追求体积更小、功耗更低的芯片,因此工艺制程节点越来越小,这对工艺清洁度提出了更高的要求。清洁度不达标,可能导致产品质量缺陷,甚至扩散污染整条产品线,造成产品全部报废的严重后果。

 

在半导体行业使用的高纯和超高纯流体系统中,接头的选择是关键点之一,常见的选择是焊接接头,但焊接接头不适用于那些需要定期更换或维护的连接,而采用非金属材料的 O 形圈密封接头则可能面临和介质不兼容的问题。有没有一种接头即方便安装和拆卸,又能和介质兼容,还能保证可靠的密封呢? 答案是金属垫片面密封接头。这种接头的密封元件采用金属垫片,其主要优点如下:

  • 金属对金属硬密封,密封性好:拧紧螺母时,两端的接管会从两个方向挤压金属垫片,由于接管密封面的硬度高于金属垫片(飞托克的316L不锈钢材质的接管密封面比同种材质的垫片硬度高109HV,比镍材质垫片硬度高158HV),因此金属垫片会产生轻微的变形,接管和金属垫片之间形成紧密的面密封以保证密封性能,飞托克产品在使用316L不锈钢材质镀银垫片、镍材质镀银垫片和铜垫片时最大氦气泄漏率 4x10-9 std cm3/s,使用316L不锈钢材质和镍材质电解抛光垫片时最大氦气泄率 4x10-11 std cm3/s;

金属对金属硬密封,密封性好

  • 可重复拆装使用:挤压金属垫片不会损伤接管密封面,因此可以重复拆装使用,仅需每次更换密封垫片,维护成本低
  • 无死区,不易残留,易吹扫:金属垫片面密封接头的结构使得密封元件能被气体完全吹扫,因而消除了残留导致的污染风险
  • 安装和拆卸方便:这种接头安装和拆卸简单,只需要常规工具即可完成,可以大幅提高安装和维护的效率

 

飞托克 FR 系列金属垫片面密封接头产品有哪些?

 

一个典型的金属垫片面密封接头组件包括:接管、垫片、阴螺纹螺母和阳螺纹螺母,除了这些零件外,飞托克的 FR 系列金属垫片面密封接头产品还包括本体、堵头、堵帽、流量限制器和锁紧装置等。

FR系列金属垫片面密封接头

其中,金属垫片在每次拆卸后均需要更换,飞托克目前提供六种不同功能的金属垫片:

1.平垫片:最常用的垫片;

2.垫片支承组件:通过卡环将垫片固定在接头密封面上,因此不受安装方向的限制,且能保证垫片完全居中;

3.侧载支承垫片:径向安装,适合安装空间狭小的场合;

4.盲垫片:充当临时堵头;

5.减震垫片:中间孔带有金属滤芯,用于减轻压力波动对管路的影响;

6.滚花垫片:垫片外环滚花,安装后与接管啮合,达到防松的目的。

FR系列金属垫片面密封接头

需要提醒的是,按照飞托克的安装指南正确操作才能保证密封性能。首先检查接头密封面和垫片是否有严重划伤等缺陷,确保密封面完好后组装接管、垫片、阴螺纹螺母和阳螺纹螺母,之后先手紧螺母,然后在保持阳螺纹螺母固定不动的同时,用扳手进一步拧紧阴螺纹螺母,不锈钢和镍材质垫片需转动 1/8 圈(注:滚花垫片为 3/8 圈),铜垫片则需转动 1/4 圈。详见金属垫片面密封接头安装说明书

FR系列金属垫片面密封接头

FR系列金属垫片面密封接头安装视频

 

飞托克提供的高纯和超高纯产品非常全面,除金属垫片面密封接头焊接接头外,还有隔膜阀波纹管阀计量阀减压阀等各种阀门,以及气体控制系统,比如控制点面板切换系统和模块化气体系统等,此外还能提供安装指导和培训服务。飞托克始终致力于用专业的产品和服务满足客户的不同需求,持续为客户创造价值。

 

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