为什么金属垫片面密封接头能满足半导体行业的需求？

半导体行业不断追求体积更小、功耗更低的芯片，因此工艺制程节点越来越小，这对工艺清洁度提出了更高的要求。清洁度不达标，可能导致产品质量缺陷，甚至扩散污染整条产品线，造成产品全部报废的严重后果。

在半导体行业使用的高纯和超高纯流体系统中，接头的选择是关键点之一，常见的选择是焊接接头，但焊接接头不适用于那些需要定期更换或维护的连接，而采用非金属材料的 O 形圈密封接头则可能面临和介质不兼容的问题。有没有一种接头即方便安装和拆卸，又能和介质兼容，还能保证可靠的密封呢? 答案是金属垫片面密封接头。这种接头的密封元件采用金属垫片，其主要优点如下：

• 金属对金属硬密封，密封性好：拧紧螺母时，两端的接管会从两个方向挤压金属垫片，由于接管密封面的硬度高于金属垫片（飞托克的316L不锈钢材质的接管密封面比同种材质的垫片硬度高109HV，比镍材质垫片硬度高158HV），因此金属垫片会产生轻微的变形，接管和金属垫片之间形成紧密的面密封以保证密封性能，飞托克产品在使用316L不锈钢材质镀银垫片、镍材质镀银垫片和铜垫片时最大氦气泄漏率 4x10^-9 std cm³/s，使用316L不锈钢材质和镍材质电解抛光垫片时最大氦气泄率 4x10^-11 std cm³/s；

• 可重复拆装使用：挤压金属垫片不会损伤接管密封面，因此可以重复拆装使用，仅需每次更换密封垫片，维护成本低；
• 无死区，不易残留，易吹扫：金属垫片面密封接头的结构使得密封元件能被气体完全吹扫，因而消除了残留导致的污染风险；
• 安装和拆卸方便：这种接头安装和拆卸简单，只需要常规工具即可完成，可以大幅提高安装和维护的效率。

飞托克 FR 系列金属垫片面密封接头产品有哪些?

一个典型的金属垫片面密封接头组件包括：接管、垫片、阴螺纹螺母和阳螺纹螺母，除了这些零件外，飞托克的 FR 系列金属垫片面密封接头产品还包括本体、堵头、堵帽、流量限制器和锁紧装置等。

其中，金属垫片在每次拆卸后均需要更换，飞托克目前提供六种不同功能的金属垫片：

1．平垫片：最常用的垫片；

2．垫片支承组件：通过卡环将垫片固定在接头密封面上，因此不受安装方向的限制，且能保证垫片完全居中；

3．侧载支承垫片：径向安装，适合安装空间狭小的场合；

4．盲垫片：充当临时堵头；

5．减震垫片：中间孔带有金属滤芯，用于减轻压力波动对管路的影响；

6．滚花垫片：垫片外环滚花，安装后与接管啮合，达到防松的目的。

需要提醒的是，按照飞托克的安装指南正确操作才能保证密封性能。首先检查接头密封面和垫片是否有严重划伤等缺陷，确保密封面完好后组装接管、垫片、阴螺纹螺母和阳螺纹螺母，之后先手紧螺母，然后在保持阳螺纹螺母固定不动的同时，用扳手进一步拧紧阴螺纹螺母，不锈钢和镍材质垫片需转动 1/8 圈（注：滚花垫片为 3/8 圈），铜垫片则需转动 1/4 圈。详见金属垫片面密封接头安装说明书。

FR系列金属垫片面密封接头安装视频

飞托克提供的高纯和超高纯产品非常全面，除金属垫片面密封接头和焊接接头外，还有隔膜阀，波纹管阀，计量阀，减压阀等各种阀门，以及气体控制系统，比如控制点面板，切换系统和模块化气体系统等，此外还能提供安装指导和培训服务。飞托克始终致力于用专业的产品和服务满足客户的不同需求，持续为客户创造价值。

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