返回 新产品发布：飞托克高温隔膜阀
06/24/2022
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简介
随着越来越多的应用中使用到高温前驱体，一款满足高温应用需求的阀门对于有着严格温度控制要求的工业管路至关重要。飞托克 DK 系列高温隔膜阀适用于完全封闭的高温、高纯和超高纯（UHP）环境，阀门的所有部件，包括执行器，均可以在高温环境下使用。浸润部件为全金属材质，特殊的结构设计使阀门在高温工况下依旧保持稳定的流量系数值。
特征
- 高温浸没设计，可用于 250 °C (482 °F) 高温环境
- 金属阀座设计，具有优越的抗膨胀和防污染能力
- 钴合金隔膜强度高、耐腐蚀，使用寿命长
- 浸润部位为全金属材质，广泛的化学兼容性
- 极少产生颗粒和死区，易吹扫
技术参数
| 端口尺寸 | 1/4" 至 3/8" 或 6 mm 至 8 mm | |
| 端口类型 | Tube 管对焊、FR 金属垫片面密封接头、卡套接头 | |
| 流量系数（Cv） | 0.27 | |
| 内通径尺寸 | 4.1 mm (0.16 in.) | |
| 最大工作压力 | 10 bar (145 psig) | |
| 气动执行器工作压力 | 5 ~ 7 bar (72 ~ 101 psig) | |
| 工作温度 | -10 ~ 250 °C (14 ~ 482 °F) | |
| 浸润面粗糙度 | 最高可达 Ra 0.13 μm (5 μin.) | |
| 泄漏率（氦气） | 内漏 | ≤ 3x10-9 std cm3/s |
| 外漏 | ≤ 3x10-9 std cm3/s | |
典型应用
金属有机化学气相沉淀（MOCVD）
原子层沉积（ALD）
高温反应釜
除 DK 系列高温隔膜阀外，飞托克还可提供其他各类超高纯隔膜阀（DQ、 DH、 DM、DS、DR、 DV、DL 和 DF 系列）以及 ALD 系列原子层沉积隔膜阀，满足半导体制造等行业对流体系统元件的严苛要求。
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