返回 新产品发布：飞托克两段式气动隔膜阀
08/21/2023
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简介
飞托克 DPT 系列两段式气动隔膜阀专用于半导体行业，其通过低流量和高流量之间的快速切换以缓和腔体内压力上升，用于防止流体急骤流入半导体制程机台的腔体等内部而造成微粒四处飞扬污染腔体。相对于传统的通过增加旁路管道来调节压力的方式，两段式气动隔膜阀更节省空间和成本。
特征
- 可在低流量和高流量间快速切换
- 钴合金隔膜强度高、耐腐蚀，使用寿命长
- 极少产生颗粒和死区
- 内部无螺纹和弹簧
技术参数
| 阀体材料 | 316L、316L VAR | |
| 阀座材料 | PFA、PCTFE | |
| 端口尺寸 | 1/4" | |
| 流量系数（Cv） | 高流量（HF）接口：0.27 低流量（LF）接口：0.02 ~ 0.12 |
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| 内通径尺寸 | 4.1 mm (0.16 in.) | |
| 工作压力 | 真空至 10 bar (145 psig) | |
| 工作温度 | PFA：-10 ~ 150 °C (14 ~ 302 °F) PCTFE：-10 ~ 80 °C (14 ~ 176 °F) |
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| 浸润面粗糙度 | Ra 0.13 μm (5 μin.) | |
| 泄漏率（氦气） | 内漏 | ≤ 1×10-9 std cm3/s |
| 外漏 | ≤ 1×10-9 std cm3/s | |
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