半导体行业应用(高纯和超高纯产品)

09/05/2019
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随着数字化、智能化需求的不断提升,半导体行业持续发展。在半导体工艺过程中,管阀件极为普遍也至关重要,其广泛应用于整个半导体制造体系的重要环节——无论是光刻机、PVD、CVD、刻蚀机等核心设备,还是晶圆制备工艺、厂务端管路系统,管阀件均不可或缺。

 

作为全球领先的管阀件供应商,飞托克可以为半导体行业流体系统提供一站式解决方案,从接头、阀门和钢管等超高纯零件到集成系统,从系统设计到安装现场服务。飞托克严格控制从原材料选择到加工、清洁、焊接、组装、测试的整个生产环节,使得其半导体专用管阀件产品满足半导体行业超洁净、超高可靠性、耐腐蚀等要求。

 

产品技术特点

 

 

  • 原材料
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    过程清洁度是半导体行业最关注的问题之一,而流体系统组件的材料纯净度对于实现所需过程清洁度至关重要。

     

    飞托克为半导体行业应用,定制 316L SS、316L SS 真空电弧重熔(VAR)作为阀体材料,其符合 SEMI F20 标准。AISI 316L (UNS S3160) 不锈钢作为高纯 HP 及超高纯 UHP 产品的常用材料,具有优良的耐腐蚀性及抗氧化性。316L VAR 通过特殊精炼方式减少非金属夹杂,进一步提升材料的纯净度。

    钴合金

    钴合金

     

    飞托克采用符合 AMS 5876 标准的钴合金或 ASTM B575 标准的哈氏合金作为膜片材料,达到高耐腐蚀性能和优异的耐久性。

     

    316L VIM-VAR

    316L VAR

     

  • 超高纯工艺
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    1.电解抛光

     

    半导体行业用超高纯产品内表面采用电解抛光处理,以提高流道的平滑性,并在金属表面形成富铬层以提高耐腐蚀性,电解抛光后的产品做钝化处理以去除游离铁离子。电解抛光后可达到以下检测标准:

     
    检测项目 检测标准
    氧化层厚度 SEMI F72
    表面缺陷分析 在5个样品区域内,每个区域的最大缺陷数 SEMI F73
    铬铁比(Cr/Fe) SEMI F60
    氧化铬比氧化铁(CrO/FeO)
    表面粗糙度(Ra) SEMI F37

     

    清洁

    2.清洁

     

    半导体行业用超高纯产品在通过 NEBB 认证的 ISO 5 洁净室使用去离子水进行超声波震洗,并采用密闭式烘箱干燥。去离子水的技术指标满足 SEMI E49 标准。

     

    3.焊接、装配、测试、包装

     

    清洗好的产品在通过 NEBB 认证的 ISO 4 洁净室内完成焊接、装配、测试、检验、包装。 按 SEMI F1 要求,进行产品的氦泄漏测试。产品包装符合 SEMI E49。产品端口封闭保护,采用双层包装,内层采用洁净聚乙烯塑料袋真空包装,外层采用聚乙烯塑料袋包装。

    焊接、装配、测试、包装

     

    飞托克半导体应用产品

     

     

    FITOK 供应的高纯及超高纯产品非常全面,从金属面密封接头焊接接头到各种阀门,比如隔膜阀波纹管阀减压阀单向阀等;还有洁净管、气体控制设备,如电解抛光(EP)洁净管气体控制组件模块化气体系统等。

     

    飞托克半导体应用产品

     

    特色产品介绍

     

    原子层沉积隔膜阀

    原子层沉积隔膜阀,ALD 系列

    • 高速执行下超高循环寿命
    • 响应速度快,可在低于 5 ms 内完成阀门开启和关闭
    • 耐热型延长热应用场合的执行器寿命
    • 提供带电感式传感器、电磁阀组件及加热棒和热电偶安装孔的阀门

    气动带锁隔膜阀

    气动带锁隔膜阀

    • 属于手动、气动复合式隔膜阀,相对传统的气动隔膜阀可有效防止误操作
    • Cv 值为 0.3,结构紧凑
    • 表面安装;符合 SEMI PR 3.1 密封规范
    • W 形密封和 C 形密封均可加工

     

    两段式气动隔膜阀

    两段式气动隔膜阀

    • 采用气动执行机构
    • 具有大、小流量气体接口,可准确实行大、小流量切换,以缓和腔体内压力上升
    • 阀体采用膜片式结构,膜片为钴合金
    • 大流量 Cv 值为 0.27,小流量 Cv 值为 0.02 ~ 0.12

    不锈钢电解抛光管(EP 管)

    不锈钢电解抛光管(EP 管)

    • 材质:316L、316L VAR
    • 检测方式:目视检验、表面粗糙度测量、 颗粒检测、湿度测试、扫描电镜(SEM),俄歇电子能谱仪(AES)、化学分析电子谱法(ESCA or XPS)
    • 库存充足:凭借灵活的制造系统和全球仓库充足的成品库存,能够为客户提供一站式解决方案和专业的服务,帮助客户节省采购和库存成本
    • 预制服务:可预制弯管组件,帮助客户提高安装效率

     

    气体控制组件

    气体控制组件

    • AGH 系列适用于高纯及超高纯流体系统;AGL 系列适用于常规气体流体系统及富氧环境
    • AGH 主要由超高纯隔膜阀、减压阀、压力表组成;AGL 主要由球阀、减压阀、压力表组成
    • 合金隔膜提高强度和耐腐蚀,使用寿命长

    模块化气体系统(IGS)

    模块化气体系统

    • 模块化设计 - 缩短设计时间
    • 表面安装 - 易于安装和维修
    • 小型化
    • 316LVV 材料、电解抛光工艺和轨道焊
    • W 形/C 形金属硬密封

     

    请查看 半导体应用产品宣传册了解更多信息。如果您有任何疑问,请在线留言,我们将尽快与您取得联系!

     

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