半导体行业应用(高纯和超高纯产品)

09/05/2019
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FITOK提供全系列的接头、阀门和系统管件,这些接头、阀门和系统管件的设计与半导体制造和应用兼容。

 
FITOK  High Purity & Ultra High Purity

 

FITOK高纯及超高纯产品
 

我们制造面密封接头、气瓶接头、焊接接头、隔膜阀、减压阀、背压阀、波纹管阀、波纹管计量阀、单向阀、模块化气体系统、切换系统和控制点面板。

 

飞托克 百级洁净室  

产品定制服务也可针对不同的材料,如316L VAR和316L VIM-VAR不锈钢材料,这些材料是专为高纯应用而设计的。为了防止产品受到污染,超高纯清洁、焊接、装配、测试和包装在我们的100级洁净室进行。

 

 

◀ 百级洁净室

 

 

重点产品介绍

  

• DP系列低压气动隔膜阀

 

• SM系列低压波纹管阀

飞托克  DP 系列低压气动隔膜阀   飞托克 SM系列低压波纹管阀
  • 全封闭阀座设计,具有优越的抗膨胀和防污染能力
  • Elgiloy合金隔膜提供高强度和强耐腐蚀性,使用寿命长
  • 可在真空下使用

 

 

 
  • 金属对金属垫片密封
  • 精密成型金属波纹管,确保可靠性
  • 非旋转阀杆尖以增加关闭循环寿命

 

应用:超高纯气体,易燃易爆气体,有毒气体及其他特种电子气体。

     

 

 

• SVH系列高压压波纹管密封阀

 

• MU系列波纹管密封计量阀

飞托克 SVH系列高压压波纹管密封阀   飞托克 MU系列波纹管密封计量阀
  • 316L 不锈钢精确成型的波纹管确保长循环寿命
  • PCTFE阀杆尖材料具有显著的耐化学和耐热性能
  • 执行器和指示器开关可选

 

应用:超高纯气体,易燃易爆气体,有毒气体及其他特种电子气体。

 

 

 
  • 复位弹簧结构设计,无空行程,可精准重复性地设定流量
  • 测微计手柄以 0.0008 in. (0.02 mm) 增量测量阀杆位置
  • 阀门逆时针开启 6 圈到最大流量
  • 模块化设计,降低维护成本

 

 

 

 

 

• ALD 系列原子层沉积隔膜阀

 

• 模块化气体系统

飞托克 ALD 系列原子层沉积隔膜阀   飞托克 模块化气体系统
  • 高速执行下超高循环寿命
  • 响应速度快,可在低于 5 ms 内完成阀门开启和关闭
  • 耐热型延长热应用场合的执行器寿命
  • 提供带电感式传感器、电磁阀组件及加热棒和热电偶安装孔的阀门

 

 

 
  • 模块化设计——缩短设计时间
  • 表面安装——易于安装和维修
  • 小型化
  • 316LVV材料、电解抛光工艺和轨道焊
  • W 型密封

 

 

 


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