返回 新产品发布：飞托克超高纯过滤器
07/22/2024
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简介
飞托克 FP 系列超高纯过滤器，过滤精度 0.003 μm。过滤器采用 PTFE 过滤元件，具备优秀的化学兼容性，适用于各种半导体工艺中的气体过滤，如：CVD、PVD，干法刻蚀等。
特征
- 在最大流速下对 0.003μm 及以上颗粒的过滤效率超过 99.9999999%
- 优秀的化学兼容性
- 100% 氦气泄漏检测
技术参数
| 材质 | 过滤元件 | PTFE | |||
| 骨架 | PFA | ||||
| 壳体 | 316L SS 或 316L SS 真空重熔 | ||||
| 过滤精度 | ≥ 0.003 μm | ||||
| 过滤效率 (对数下降值) | ＞ 99.9999999% (9LRV) | ||||
| 氦气泄漏率 | ＜ 1×10-9 std cm3/s | ||||
| 推荐工作流量 | 0~2.1 scfm (0~60 slpm) |
0~4.2 scfm (0~120 slpm) |
0~17.7 scfm (0~500 slpm) |
0~35.3 scfm (0~1000 slpm) |
|
| 最大工作压力 | 207 bar (3000 psig) | 68.9 bar (1000 psig) | |||
| 最大正向压差 | 4 bar (58 psig) @ 23 °C | 6 bar (87 psig) @ 23 °C | |||
| 最大反向压差 | 0.7 bar (10 psig) @ 23 °C | 3 bar (44 psig) @ 23 °C | |||
| 最大工作温度 | -30 ~ 120 °C (-22 ~ 248 °F) | ||||
除 FP 系列超高纯过滤器外，飞托克还可提供其他各类隔膜阀（DQ、DP、DH、DM、DS、DR、DV、DL、DF、DE、DK 和 ALD 系列）、真空发生器（VGB、VGM、VGC 系列）、高纯球阀（BGP、BHP、BDP、BRP 系列）、洁净管（TBA、TEP 、PEP 和 TCA 系列）、减压阀（RDGC、RTGC、RDCC、RTCC系列）等，满足半导体制造等行业对流体系统元件的严苛要求。
请查看 FP 系列超高纯过滤器样本了解更多信息。如果您有任何疑问，请在线留言，我们将尽快与您取得联系！
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