返回 新品发布：飞托克红宝石限流垫片
07/25/2024
703
简介
飞托克红宝石限流垫片是一款采用高精度红宝石材料制成的流体控制元件，用以精准地控制流体在管道中的流量。该垫片具有优秀的耐磨性、耐腐蚀性和耐高温性，能在严苛的工况环境下保持稳定的性能，广泛应用于半导体刻蚀设备。
特征
- 限流内孔经激光打孔，金刚丝均匀研磨，加工精度高，流量一致性好；
- 采用精湛的扣压工艺将红宝石固定在垫片中，颗粒物少，洁净度高；
- 耐化学腐蚀性好，适用于涉及腐蚀性化学品或气体的腐蚀性蚀刻环境；
- 硬度高，耐磨损，刻蚀过程中孔口能保持形状，不易出现颗粒；
- 热稳定性好，在刻蚀设备中能承受高温，不会变形或损坏；
- 在某些涉及光学监测或控制的刻蚀工艺中，对特定波长光线具有良好的透明度。
技术参数
| 垫片型式 | FR 面密封型 | C-Seal 表面安装型 |
| 尺寸 | 1/8”、1/4”、1/2” | 1.125” |
| 最大工作压力 | 10 bar (145 psig) | |
| 工作温度 | -196 ～ 400 °C (-320.8 ～ 725 °F) | |
| 限流内孔尺寸 | 0.0015” ～ 0.0350” | |
| 流量偏差 | ±5% 以内 | |
| 氦气泄漏率 | ≤ 4×10-11 std cm3/s | ≤ 1×10-9 std cm3/s |
除红宝石限流垫片外，飞托克还可以提供常规限流垫片以及金属面密封垫片，以满足不同的应用需求。
请查看金属垫片面密封接头样本和模块化气体系统样本了解更多信息。如果您有任何疑问，请在线留言，我们将尽快与您取得联系！
相关文章：
